一、術語

1潔凈室 潔凈廠房

空氣懸浮粒子濃度受控的房間。

2 潔凈區(qū)

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間?？煞譃殚_放式和封閉式。

3 移動式潔凈小室

可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。

4 粒徑

給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當?shù)那蛐误w直徑。

5 懸浮粒子

用于空氣潔凈度分級的，尺寸范圍在0.1μm~5μm，懸浮于空氣中的固體和液體粒子。

6 超微粒子

當量直徑小于0.1μm的粒子。

7 微粒子

當量直徑大于5μm的粒子。

8 粒徑分布

粒徑的頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。

9 含塵濃度

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

10 潔凈度

以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。

11 氣流流型

對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設計。

12 單向流

通過潔凈室(區(qū))整個斷面的風速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流?？煞譃榇怪眴蜗蛄骱退絾蜗蛄?。

13 非單向流

送人潔凈室(區(qū))的送風以誘導方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。

14 混合流

單向流和非單向流組合的氣流。

15 潔凈工作區(qū)

指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m~1.5m的區(qū)域，工藝特殊要求除外。

16 空氣吹淋室

利用高速潔凈氣流吹落并清除進人潔凈室人員表面附著粒子的小室。

17 氣閘室

設置在潔凈室出人口，阻隔室外或鄰室污染氣流和控制壓差而設置的緩沖間。

18 傳遞窗

在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

19 空態(tài)

設施已經(jīng)建成，其服務動力公用設施區(qū)接通并運行，但無生產(chǎn)設備、材料及人員的狀態(tài)。

20 靜態(tài)

設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

21 動態(tài)

設施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。

22 高效空氣過濾器 (HEPA)

額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。

23 超高效空氣過濾器 (ΜLPA)

額定風量下，對粒徑0.1μm~0· 2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。

24 自凈時間

潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級所需的時間。

25 生物潔凈室

潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。

26 浮游菌

懸浮在空氣中的帶菌微粒。

27 沉降菌

降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。

28 U描述符

每立方米空氣中包括超微粒子（小于0.1μm）的實測或規(guī)定濃度。

29 M描述符

每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子（大于5μm）。

30 工業(yè)管道

潔凈廠房內(nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。

二、空氣潔凈度等級

1 空氣潔凈度整數(shù)等級及濃度限值

注:按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應超過3位。

2 最大濃度限值計算

Cn——大于等于要求粒徑的最大濃度限值（pc/m3），取整，有效位數(shù)不超過三位。

N——空氣潔凈度等級，可取至小數(shù)點后一位。

D——要求的粒徑（μm）

0.1——常數(shù)，量綱為0.1μm

3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm~0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。

注：此處粒徑范圍，根據(jù)上述潔凈度整數(shù)等級及濃度限值，以及U描述和M描述的定義，感覺應為0.1μm~5μm。

5 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應與業(yè)主協(xié)商確定。

6 當潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

三、總體設計

1 潔凈廠房新風口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。

2 人員凈化用室和生活用窒的設計，單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設一臺。

3人流路線應避免往復交叉。

4 潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，宜按潔凈區(qū)設計人數(shù)平均每人2m2~4m2計算。

5 根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)風管內(nèi)風速宜符合下列規(guī)定:

1） 總風管風速宜為6m/s~10m/s。

2）無送、回風口的支風管風速宜為4m/s~6m/s。

3）有送、回風口的支風管風速宜為2m/s~5m/s。

四、空氣凈化

1 潔凈室的溫、濕度要求

2 供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小40m3/h。

3 不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。

4 送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機;關閉時聯(lián)鎖程序應相反。

負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。

5 非連續(xù)運行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調(diào)處理。

6 氣流流型及送風量，如下表所示

7 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量，其布置要求如下表所示。

8 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室不得采用散熱器采暖。

9 潔凈廠房中的疏散走廊應設置機械排煙設施。

10 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風管段應設置電動密閉閥、調(diào)節(jié)閥,送、回風管段應設置調(diào)節(jié)閥,潔凈室內(nèi)的排風系統(tǒng)應設置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動密閉閥。

11 在空氣過濾器的前、后應設置測壓孔或壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，宜設置風量測定孔。